导引
太赫兹近场显微成像成谱技术由于其分辨率可以达到nm级别,同时还能具有频谱信息,因此在生物细胞探测、半导体微纳结构检测等领域具有广泛应用价值。
那么,太赫兹近场显微成像成谱系统如何搭建?有哪些核心关键技术?在半导体领域有哪些重大应用?
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