

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员 田子傲:这个氧化铝就是蓝宝石,它虽然是人工合成的,但是它的晶体结构、介电特性、绝缘特性都跟我们现实生活中的宝石的性能是一样的。这个就是我们最典型的一个器件结构,下面是锗的半导体材料,中间是介质,上面是金属,这是中间薄薄的一层,大概只有2纳米,它就是我们人工合成的蓝宝石,可以看到它的它这个界面是非常清晰的,非常光滑的界面也有助于它限制漏电流的产生。

中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员 田子傲:这个氧化铝就是蓝宝石,它虽然是人工合成的,但是它的晶体结构、介电特性、绝缘特性都跟我们现实生活中的宝石的性能是一样的。这个就是我们最典型的一个器件结构,下面是锗的半导体材料,中间是介质,上面是金属,这是中间薄薄的一层,大概只有2纳米,它就是我们人工合成的蓝宝石,可以看到它的它这个界面是非常清晰的,非常光滑的界面也有助于它限制漏电流的产生。
内容来自:福建科普