陈学东院士开讲：IC光刻机的减振

上传时间：2024-11-05 08:47

武汉教育电视台

原创

光刻机少年对话院士减振器

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视频简介：芯片，相当于人的心脏，心脏不强，体量再大也不算强；而减振器是光刻机的“基石”，基础不牢则地动山摇。陈院士甘坐冷板凳，肯下苦功夫，瞄准世界一流，实现IC光刻机减振的关键核心技术自主可控，把这个技术的创新主动权、发展主动权牢牢掌握在我们自己手中。

内容来自：武汉教育电视台

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